光刻機(jī)巨頭ASML回應(yīng)荷蘭出口管制新規(guī)：只涉及部分DUV
【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】
6月30日晚間，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML在向觀察者網(wǎng)提供的一份聲明中稱，荷蘭政府于今日頒布了有關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的新條例。正如其在今年三月發(fā)布的消息中所述，這些新的出口管制條例針對(duì)對(duì)象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。
ASML表示，根據(jù)新出口管制條例規(guī)定，該公司需要向荷蘭政府申請(qǐng)出口許可證才能發(fā)運(yùn)最先進(jìn)的浸潤(rùn)式DUV系統(tǒng)（即TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)）。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證，并將向ASML提供許可證所附條件的細(xì)節(jié)。
ASML在聲明中重點(diǎn)指出，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)（DUV，深紫外光刻）。而該公司的EUV光刻（極紫外光刻）系統(tǒng)在此前已經(jīng)受到限制，其他系統(tǒng)的發(fā)運(yùn)暫未受荷蘭政府管控。
“ASML將繼續(xù)遵守適用的出口管制條例，其中包括荷蘭、歐盟及美國(guó)的出口管制條例。”
這家光刻機(jī)巨頭稱，荷蘭政府新頒布的出口管制條例將于2023年9月1日生效，在此日期前，ASML可開(kāi)始提交出口許可證申請(qǐng)，荷蘭政府將視具體情況批準(zhǔn)或拒絕這些申請(qǐng)。
ASML參展SEMICON China 2023 圖源：觀察者網(wǎng)
當(dāng)?shù)貢r(shí)間周五（6月30日），荷蘭政府正式宣布限制某些先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備出口的新規(guī)，這些規(guī)定將于9月1日生效。具體而言，荷蘭政府將要求先進(jìn)芯片制造設(shè)備的公司在出口之前須獲得許可證。盡管荷蘭政府并未直接點(diǎn)名會(huì)受到限制的公司，但外界都明白這是在針對(duì)當(dāng)?shù)刈畛雒陌雽?dǎo)體設(shè)備公司ASML。
荷蘭方面這一動(dòng)作其實(shí)早有跡象。今年3月，荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾（Liesje Schreinemacher）就曾向荷蘭議員宣稱，“鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治背景，政府得出結(jié)論，為了（國(guó)際）國(guó)家安全，有必要擴(kuò)大對(duì)特定半導(dǎo)體制造設(shè)備的現(xiàn)有出口管制。”
彼時(shí)ASML就曾發(fā)布聲明稱，新出口管制并不適用于所有的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)，而只適用于所謂“最先進(jìn)的”，并且這些管控措施轉(zhuǎn)化為立法并生效還需要時(shí)間。ASML所謂“最先進(jìn)的”DUV，是指TWINSCAN NXT:2000i和后續(xù)推出的浸潤(rùn)式系統(tǒng)。
這也意味著，ASML生產(chǎn)的TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的浸潤(rùn)式DUV機(jī)型不在受限范圍。
觀察者網(wǎng)查詢方正證券2020年6月發(fā)布的研報(bào)發(fā)現(xiàn)，TWINSCAN NXT:2000i DUV（雙工作臺(tái)深紫外光刻機(jī)）曾是ASML最先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)，也是EUV光刻機(jī)之前的重要過(guò)渡產(chǎn)品，同時(shí)是后期7nm/5nm產(chǎn)能的重要補(bǔ)充。這種機(jī)型在2018年就已開(kāi)始出貨，被視為可用于生產(chǎn)7nm等制程（多次曝光）。
ASML官網(wǎng)顯示，TWINSCAN NXT:2000i專為與EUV混合使用而設(shè)計(jì)，可為高級(jí)邏輯和DRAM節(jié)點(diǎn)的大批量制造提供出色的覆蓋、聚焦控制和交叉匹配。比這款光刻機(jī)更先進(jìn)的型號(hào)是TWINSCAN NXT:2050i，該系統(tǒng)滿足多種圖案化要求，為在高級(jí)邏輯和DRAM節(jié)點(diǎn)制造300毫米晶圓提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。
ASML官網(wǎng)截圖
在先后兩次聲明中，這家荷蘭光刻機(jī)巨頭提到，主要關(guān)注成熟制程的客戶，可以使用不太先進(jìn)的浸潤(rùn)式光刻工具，“我們認(rèn)為這些管制條例不會(huì)對(duì)已發(fā)布的2023年財(cái)務(wù)展望以及于2022年11月投資者日宣布的長(zhǎng)期展望產(chǎn)生重大影響”。
但不能自由出貨，ASML在華收入將不可避免受到干擾。該公司預(yù)計(jì)2023年中國(guó)大陸銷售額將保持在22億歐元左右（約合人民幣162億元），而全球總銷售額將增長(zhǎng)25%，因?yàn)橹饕蛻襞_(tái)積電和英特爾都在擴(kuò)產(chǎn)。
根據(jù)ASML財(cái)報(bào)，2022年該公司共出貨345臺(tái)光刻系統(tǒng)，其中有81臺(tái)浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)（ArFi），占比為23%。所有產(chǎn)品中，42%銷往中國(guó)臺(tái)灣，29%銷往韓國(guó)，14%銷往中國(guó)大陸，銷往美國(guó)的只有7%。
ASML光刻機(jī)型號(hào)（資料圖）
在荷蘭政府宣布新的半導(dǎo)體出口管制條例后，中國(guó)駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應(yīng)：荷蘭政府正式出臺(tái)半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口管制措施，這是對(duì)出口管制措施的濫用，是對(duì)自由貿(mào)易和國(guó)際經(jīng)貿(mào)規(guī)則的嚴(yán)重背離，中方對(duì)此堅(jiān)決反對(duì)。
“我們呼吁荷方從維護(hù)國(guó)際經(jīng)貿(mào)規(guī)則及中荷經(jīng)貿(mào)合作大局出發(fā)，立即糾正錯(cuò)誤做法。中方將堅(jiān)決維護(hù)自身合法權(quán)益。同時(shí)，也愿與荷方一道，本著互利互惠的原則，共同探討解決方案，共同推動(dòng)中荷經(jīng)貿(mào)關(guān)系健康發(fā)展。”中國(guó)駐荷蘭大使館發(fā)言人表示。
ASML方面也早就對(duì)出口管制做出過(guò)警示。今年2月，在接受歐洲媒體采訪時(shí)，ASML首席執(zhí)行官溫彼得直言，如果美國(guó)及其盟友切斷中國(guó)（大陸）獲得某些半導(dǎo)體和半導(dǎo)體制造技術(shù)的渠道，中國(guó)將被迫加倍努力開(kāi)發(fā)自主技術(shù)。他坦言，雖然出口管制是合法工具，但不應(yīng)該被濫用，決策者在“擺弄”半導(dǎo)體供應(yīng)鏈之前應(yīng)充分了解它的復(fù)雜性。